Mikrolitografia elektronowa to najnowocześniejsza obecnie metoda zapisu hologramów wzorcowych. Laser okazał się zbyt prymitywnym urządzeniem - został zastąpiony wiązką elektronów. Struktury asymetryczne i nanostruktury mogą być wykonane wyłącznie technologią litografii elektronowej na skomplikowanych i kosztownych urządzeniach.
Wykonywane tą metodą hologramy posiadają liczne zabezpieczenia na różnych poziomach: